MEMS多维度微动平台是利用MEMS执行器驱动平台以及所载物体在多个维度上实现移动。伴随各类系统不断集成化,
小型化的,以及精度,可靠性等性能要求的不断提高,MEMS微动平台以其体积小,精度高,功耗低,速度快等优势
在各个领域中有着极为广阔的应用场景。
所涉及领域覆盖光学成像,光学通讯,生物检测等,并可在无人机,
视频监控,虚拟现实,增强现实,基因工程,5G,智能穿戴等一系
列应用中起到关键作用。
微文微动平台可以实现5维驱动(面内二维+面外三维),结合电热
与静电两种驱动方式,可根据具体应用需求搭配不同执行器,可实
现高精度(纳米级),大位移(毫米级),低功耗,高填充率,小
尺寸,高速多维微动平台。
2018无锡微文半导体科技有限公司 版权所有 苏ICP备16003840号-2
中国· 无锡新区菱湖大道200号
中国无锡传感国际创新园B2-305
电话:13358103275