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MEMS多维度微动平台是利用MEMS执行器驱动平台以及所载物体在多个维度上实现移动。伴随各类系统不断集成化, 小型化的,以及精度,可靠性等性能要求的不断提高,MEMS微动平台以其体积小,精度高,功耗低,速度快等优势 在各个领域中有着极为广阔的应用场景。

所涉及领域覆盖光学成像,光学通讯,生物检测等,并可在无人机, 视频监控,虚拟现实,增强现实,基因工程,5G,智能穿戴等一系 列应用中起到关键作用。

微文微动平台可以实现5维驱动(面内二维+面外三维),结合电热 与静电两种驱动方式,可根据具体应用需求搭配不同执行器,可实 现高精度(纳米级),大位移(毫米级),低功耗,高填充率,小 尺寸,高速多维微动平台。

芯片参数Chip Parameters
产品应用领域Product Application Areas
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