微奥MEMS微干涉模块是利用MEMS微镜设计的一款 迈克尔逊干涉仪,可以实现各种光干涉。

干涉模块中使用的反射均采用MEMS技术设计加工, 驱动微镜的电压低、谐振频率高、抗冲击力强、可 实现三维调节,方便使用。

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