该系列芯片有共振扫描和准静态偏转两种工作模式,共振扫描最大可实现±15°机械偏转,准静态模式最大可实现 6.5°机械偏转。微镜镜面尺寸达2.5~3mm,表面镀铝或金,对可见光至红外光不同波长光源均有良好的反射率。该 系列芯片可应用于3D人脸识别、激光雷达、医学成像、激光打印等领域。


多种尺寸芯片

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