该系列芯片有共振扫描和准静态偏转两种工作模式,准静态模式可实现0~±1~±6°不同角度机械偏转。微镜镜面 尺寸0.3~3mm,表面镀铝,对可见光光源有良好的反射率。该系列芯片可应用于双轴光开关、激光雷达、医学成像 等领域。


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