微奥MEMS阵列芯片分为一维线阵和二维矩阵两种,目前已开发的一维线阵微镜包括1*20的WSS波长选择开关, 二维微镜矩阵包括8*8和20*20大阵列光交叉互联(OXC)芯片,其驱动电压小于10V,芯片偏转角度可达±10°。


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