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光学MEMS

光学MEMS是由微机电系统(MEMS)与微光学结合而产生的一种微光学结构系统。
微光机电系统是一种可控的微光学系统,该系统中的微光学元件在微电子和微机械装置的作用下能够对光束进行汇聚、衍射和反射等控制,从而可最终实现光开关、衰减、扫描和成像等功能。

微奥生产的MEMS微镜基于电热原理,使用热膨胀率不同的两种材料(Bimorph)制作悬臂梁结构,利用集成电阻加热驱动。在结构上,采用对称结构设计,保证微镜不产生侧向位移,并可实现二维大角度扫描和垂直大位移线性扫描。
具有驱动电压低,镜面填充率高,响应时间短,加工工艺简单,封装工艺简单等优势。

 

MEMS微型光谱仪

MEMS微型光谱仪以MEMS微干涉平台为核心器件,将传统的傅里叶光谱仪与先进的MEMS技术有机结合起来,配合微组装,微加工等技术实现了整机的微型化与便携化.
MEMS光谱仪利用微干涉平台上的MEMS微镜来实现光的干涉,干涉平台的微镜基于电热方式驱动,具有位移大,体积小,驱动容易,线性度高等特点。
微型干涉平台,还可通过微镜的偏转实现镜面的微小调整,操作方便,精度高。

以此实现的MEMS微型光谱仪,在户外作业,家庭使用,环境监测,安检安防等领域提供了高质量、高品质的服务。

 

MEMS内窥光学扫描探头

微奥科技的MEMS光学探头采用世界领先的微机电系统(MEMS)光学扫描微镜技术,可与多种光学成像技术结合,应用于各种狭小空间进行实时、快速、高分辨率的三维成像。该探头主要由光纤、格林透镜、MEMS微镜、套管和基座等元器件组成。

该探头采用MEMS微镜技术的小体积、高度集成化等特点,实现了探头尺寸最小可到2.5mm。该MEMS与同类产品相比,具有创纪录的大镜面、大角度、大扫描范围、低驱动电压、制作工艺和封装简单等优势。

 

OCT光学影像技术

微奥MEMS光学影像内窥镜系统是基于国际领先的MEMS光扫描技术,结合先进的光学相干层析成像技术(OCT),在国内首次实现了在人体内脏器官进行实时、活体、无损伤、快速的高分辨率三维OCT成像。可广泛应用于体内癌症早期检测、精准手术导航及术后无创检查。

该产品可单独使用也可与所有常规内窥镜组合使用,其三维无创高分辨率成像功能可应用于所有内脏器官的活体实时成像,包括整个呼吸道、消化道及生殖系统。