垂直大位移微镜芯片  芯片型号 芯片尺寸/mm 镜面尺寸/mm  机械角度/° 驱动电压/V 一阶固有频率/Hz 功耗/mW 响应时间/ms
SA-F14.1 11.4×3.65×0.4 1.2×1.4 330um 8 600~700 730 35~45 下载
SA-F14.2 11.4×3.65×0.4 1.2×1.4 220um 10 650~800 350 5~15 下载
SA-F14.3 3.75X2.5 1.2X1.4 170um 15 660~830 50~55 140~200 下载
SA-F14.3 3.75X2.5 1.2X1.4 200um 16 530~630 50~55 100~150 下载