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MEMS微镜作为微光机电系统里面的核心器件,能够对光束进行自由操作,从而实现光路切换、光增益控制、光显示、光扫描和光成像等功能。

基本原理

微奥MEMS微镜采用一种独特的电热式双S型Bimorph(双层材料梁)驱动结构,使用热膨胀率不同的两种材料制作成悬臂梁,当温度发生变化时,Bimorph就会产生形变。在Bimorph顶端连接一个镜面并在Bimorph中集成一个加热电阻,在改变加热电阻的电压时Bimorph变形并带动镜面转动。

产品结构

微奥MEMS微镜采用全新的双S折叠梁驱动结构设计,如图3所示,其特征在于每段S梁由两节结构层相反的Bimorph组成,同时第二段S梁折叠后与第一段S梁的Bimorph相邻且结构层相反。如图4所示,镜面与衬底平行,并且镜面在衬底表面以下被衬底保护起来,大大简化了封装工艺,还增加了器件的稳定性。这种新结构最大的特点是差分驱动。如图5所示,所有四个驱动臂都加上一个偏置电压VP,当其中一对驱动臂加上等值但反相的差分电压(±VT-x)时,一个驱动臂升温往下拉,相对的驱动臂降温往上推,另外两个驱动臂温度不变位置也不变,因此镜面绕x轴转动。同样原理,镜面也可绕y轴转动。这种差分驱动带来一个非常重要的好处,当环境温度变化时,镜面转角不变!而环境温度造成镜面角度漂移正是其它电热驱动设计无法避免的难题。

产品特点 

Ø大镜面

Ø大转角

Ø低驱动电压

Ø高镜面填充率

Ø对称结构,两轴相同转角

Ø谐振频率高(更好的抗振性)

ØIC兼容工艺

Ø环境温度不影响转角

Ø完全不受静电影响

Ø可进行TO、DIP、QFP、FC、WLP等多种形式封装

产品功能 

该MEMS微镜可由电压精确控制2轴镜面转动角度,实现对光束的静态、动态控制。

图6.三维可调微镜实物图       图7.线性大位移微镜实物图           图8.MEMS芯片阵列

产品种类及应用领域

 
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